Розглянуто комп’ютерні методи в моделюванні та проектуванні мікроелектромеханічних систем. Основну увагу приділено компонентному рівню проектування, що передбачає аналіз фізичних процесів у МЕМС. Для цього детально описано особливості використання числового методу розв’язання задач математичної фізики – методу скінченних елементів. Крім того, для повноти висвітлення матеріалу, у роботі розглянуто питання валідації та забезпечення якості під час проектування МЕМС. Кожен розділ роботи супроводжується детальними ілюстративними прикладами, що спрямовані на краще розуміння та засвоєння матеріалу.