Это уже третье издание книги «Нанотехнологии в электронике». Выпущенная несколько лет назад она незамедлительно обрела своего читателя и очень быстро стала популярной в области современных нанотехнологий и смежных с ней направлениях. Настоящее издание было составлено группой лучших экспертов по высоким технологиям из национального исследовательского университете «МИЭТ». Авторы старались осуществить частичную преемственность материала, содержащегося в первом выпуске, однако структура книги существенно изменилась: группировка статей по условным разделам (теоретико-экспериментальные работы, методы исследований, технологии, приборы и устройства) представляется более правильной с точки зрения понимания общего направления работ в «МИЭТ». Область нанотехнологий относится к особо высыконаукоемким отраслям. Особую роль здесь играют исследования в области материаловедения и процессов, протекающих на атомарном, молекулярном и субкристаллическом уровне. Понимание этих явлений способствует созданию более эффективных технологических процессов, оперирующих нанометровым диапазоном Удельная доля научных исследований при создании приборов и устройств наноэлектроники как нигде высока. Каждая из работ представляет собой законченный научный труд обзорного или обобщающего характера, либо является частью оригинальных исследований, полученных в последние 3-5 лет. Книга представляет интерес для специалистов, аспирантов и студентов, работающих в области нанотехнологий и смежных областях.